第一百七十六章：国产DUV光源

第一百七十六章：国产DUV光源 (第2/3页)

因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。

九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源，为这个分辨率90nm的S1A600/20光刻机的适配光源设备是DUV深紫外光。

光源设备运行，激光器发射出来的深紫外光

经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。

光掩膜台上面放的测试用的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。

曝光台上放置着一张8英寸晶圆片，上面涂抹了光刻胶。

半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的，但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。

“这，这，这……”

“这居然是真的，国产DUV光源？我不是在做梦吧，老赵。”

“纯净度极为优秀”

刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机，嘴巴不自觉张大，眼神有些涣散。

李由作为一个有家室的中年人，很是照顾后辈。

他走到这人身旁，拍了拍他的肩膀。

“回回神，这才刚开始。”

“啊？啊？什么开始？你们可以把这个光源卖给我们吗？现在就可以用我们国产的光源了吗？”

这位青年工程师有些语无伦次，其他研发人员和工程师亦是如此。

整个实验室和光刻机工作间的人都震惊了。

大夏企业自己的光源设备！

他们等这一天多久了？

有浦东微电子的老工程师不自觉擦起了眼泪。

男儿有泪不轻弹，只是未到伤心处。

这群投身国产半导体行业的老人们更是感触颇深。

他们当年搞这个的时候……

“造不如买、造出垃圾来卖得又贵，国产不好用。

国产毛病多，你们别做了，还是买德国的光源吧！

搞个光刻机净坑自己人！”

一句句往日刁钻刻薄的话此刻在耳边回响，再看看现在那台光刻机。

“终于有好光源了。”

赵教授摘下眼镜，擦了又

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